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固体拡散材-BNウエハ-を用いたシリコンへのホウ素拡散における窒素ガス流中の酸素の影響北川 興; 西川 正人; 伏井 康人; 田中 秀司; キタガワ ハジメ; ニシカワ マサト; フクイ ヤスト; タナカ シュウジ; Kitagawa Hajime; Nishikawa Masato; Fushi Yasuhito; Tanaka Shuji30-Sep-2007

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